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宜兴市邦世达管式炉操作规程
作者: 发布于:2017-8-8 17:28:36 点击量:

  1、管式炉准备工作

  a,检查电源线接触是否良好

  b,检查连接线是否正常

  c,检查冷却水是否正常

  d,检查密封性是否正常

  e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘

  2、开炉

  a,打开主电源开关

  b, 向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板

  c, 将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮,取出 。石墨坩埚,依次放置于石墨推车上输送车开关.

  d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

  3、装料

  a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。

  b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。

  c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门

  4、抽气

  a、检查管式炉炉门是否关紧,真空系统是否密封

  b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开管式炉 。阀门,开始抽气测试泄漏率,

  c、当压力表指示为 50Pa是关闭管式炉阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。

  加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。

  冷却

  a、加热结束后,按工艺条件进行冷却;


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