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真空电阻炉的操作规程
作者:邦世达炉业 发布于:2019-5-20 12:25:04 点击量:

真空电阻炉的操作规程

一、装出工件前的检查

1.检查控制系统接地是否良好,各电缆绝缘层是否破损漏电。

2.测量电热元件的对地绝缘电阻及相间电阻。

3.检查有没有漏水、漏气、螺栓松动等影响设备运行的情况,设备不能带故障运行。

4.检查冷却水压力,一般不小于0.2Mpa,各水路手动阀门应打开,水流通畅。

5.检查压缩空气压力,一般不小于0.5Mpa。

6.在打开炉子前,应检查炉内压力是否与大气压力平衡。

7.合上总电源开关,应无故障指示。

8.工作前一定要熟悉工艺文件。

二、工件的装出炉

1.在炉盖开启或关闭时,不得对真空密封面造成刮擦,以免破坏设备的密封性能。

2.在装工件时,避免冲撞设备内部其它部件,造成设备的严重破坏。

3.工件安放位置应保证在炉子有效工作区范围内。

4.去除炉内工件之前,应准备好待装炉的工件,以免炉内过多次或过长时间暴露大气而影响真空度。

三、抽真空

1.真空机组、规管及仪表处在正常工作状态,才能启动真空系统。

2.真空度达到罗茨泵入口真空度时才能启动罗茨泵,否则罗茨泵不能启动。

3.达到扩散泵前级真空度时才能给扩散泵加热,以防扩散泵油氧化。

4.扩散泵加热时间到,并达到预抽真空度才能打开高真空阀。

5.随时观察炉内真空度的变化情况。

四、加热

1.输入温度控制工艺曲线。

2.炉内真空达到工作真空度时,才能通电加热。

3.加热过程中,观察炉子工作情况,认真做好各项记录。

4.炉子工作过程中发生故障,应停止加热并请维修人员进行处理。

五、结束

1.加热工艺结束,切断加热电源。

2.关真空系统:炉温降到150℃以下,依次关高真空阀、扩散泵加热器。

3.扩散泵冷却时间到,关闭前级阀和前级泵机组。

4.炉子温度低于75℃,可关闭冷却水。

5.控制系统断电。

六、注意事项

1.操作人员避免接触炉子高温部位,比如扩散泵底部,以免烫伤。

2.启动扩散泵后,不要同时打开前级阀和预抽阀,以免气体进入扩散泵引起扩散泵油爆燃。





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