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油扩散泵比机械泵能获得更高的真空度

时间:2022-11-14 10:00:37 点击:13

机械泵并不能获得较高的真空度,要获得更高的真空度,可采用扩散泵,并与机械泵构成高真空机组。机械泵作为扩散泵的前置泵,高真空机组的工作真空度可达10-2-10-5Pa。扩散泵工作时,内有高速流动的蒸汽流,被抽气体扩散到蒸汽流中,然后被蒸汽流带往排气口,达到抽气的目的,因此扩散泵又称为蒸气射流泵。蒸气流由工作介质油经过加热产生,这种利用油作为工作介质的扩散泵叫做油扩散泵。
 
      油扩散泵上部为进气口,通过主阀门与真空炉腔相连,右下方是与前级泵连接的出气口,底部储有扩散泵油的蒸发室,中间是带有导流管的伞形喷嘴,金属外壳周围安装有冷却水管,扩散泵油靠蒸发室下面的电炉加热。
 
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